主要特點(diǎn)
- 用于超高純度化學(xué)產(chǎn)品的專用精密包裝，例如在清潔桶中用于半導(dǎo)體/LCD 生產(chǎn)
作為充電設(shè)備以半自動方式制造
- 通過安裝在潔凈工作臺上，可以保持比周圍區(qū)域更高的潔凈等級。
- 因?yàn)槭前嘿F的產(chǎn)品，使用高精度的儀表來準(zhǔn)確充電，誤差在0.05%以內(nèi)。
- 選擇材料和部件以防止異物污染
- 根據(jù)現(xiàn)場情況在設(shè)計(jì)中體現(xiàn)出各種對策，如防止微泡、防止金屬離子混入、防紫外線等。
- 使用安裝在Clean Class-100或1000潔凈區(qū)的潔凈室設(shè)備制造。
- 一般為I區(qū)防爆場所
